ZYGO 是全球精密光学计量、非接触式三维表面形貌检测领域标杆企业，以光学干涉技术为核心，为半导体、航空航天、高端光学提供亚纳米级高精度检测方案。
一、技术核心：光学干涉测量的精准应用
激光干涉仪利用相干激光干涉效应，将标准波面与被测表面对比，实现面型与波前误差高精度检测，是精密光学制造的重要基准。
CSI 白光干涉仪采用宽带光源，通过相干峰值定位高度，实现非接触、无损伤、亚纳米级三维形貌测量，可覆盖超光滑晶圆、MEMS、微细结构与台阶结构，满足高端制造严苛要求。
二、核心产品与高端应用
在半导体领域，ZYGO 为掩模版、晶圆提供平面度与面型检测，并用于高端光刻机物镜校准验证；在 AR/VR 与消费电子领域，保障光学组件成像质量与良率；在航天领域，参与太空望远镜等项目，提供超精密光学元件与检测服务。
三、ZYGO 核心优势
在高端实验室与工业检测中，ZYGO 设备常作为计量标准设备，数据公信力强；搭配专属 Mx™测量软件，实现面型、形貌、动态特性多维度检测；设备稳定性、一致性与耐用性突出，可同时满足研发与大批量产线长期使用。
