主营业务： 半导体及电子制造： 物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、干法刻蚀、灰化设备、离子注入及快速热处理系统。 显示技术： 全球领先的面板溅射设备（Sputtering）、蒸镀设备及掩模板封装方案。 核心零部件： 全系列高真空泵（干泵、分子泵、油泵）、真空计、氦质谱检漏仪、成膜控制器及表面分析测试仪器。

主营业务： 工业级AFM： 专为 200mm 和 300mm 晶圆产线设计的全自动原子力显微镜（如 NX-Wafer），用于化学机械抛光（CMP）后的表面形貌监控及粗糙度分析。 科研级AFM： NX系列扫描探针显微镜，广泛用于基础科研与纳米材料开发。 综合计量方案： 结合白光干涉仪（WLI）的光学测量模块、纳米级红外光谱分析系统（Nano-IR）及高灵敏度主动隔振系统。

主营业务：时间频率同步设备、 高性能MEMS加速度计、陀螺仪、压力传感器；MEMS代工服务（Tronics）；高精度光电瞄准及定位系统；特种半导体热处理与电子组装工艺方案。

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