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1952年成立于日本，是享誉全球的真空技术领军企业。业务横跨半导体、新型显示、功率器件、新能源、冷冻干燥及生物医药等多个前沿领域。

主营业务：

半导体及电子制造： 物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、干法刻蚀、灰化设备、离子注入及快速热处理系统。

显示技术： 全球领先的面板溅射设备（Sputtering）、蒸镀设备及掩模板封装方案。

核心零部件： 全系列高真空泵（干泵、分子泵、油泵）、真空计、氦质谱检漏仪、成膜控制器及表面分析测试仪器。