Accurion RSE 光谱型参比椭偏仪 – 慧创科学官网

光谱型参比椭偏仪

Accurion RSE 光谱型参比椭偏仪采用参考光路设计，大幅提升测量精度和稳定性。适用于超薄薄膜、纳米结构等高精度测量需求。

应用领域：

快速晶圆检测污染物检测超薄膜的厚度层间厚度

核心特点

视野内所有像素的同时测量：每个像素的光谱椭偏测量
最高横向椭偏分辨率：可以在小至1微米的微结构上确定厚度和折射率
先识别，再测量：通过在实时椭偏视图中绘制区域直观选择测量区域
连续光谱成像椭偏测量：从紫外到近红外
“单次”参比光谱椭偏测量
每秒200个全光谱椭偏数据
用于评估薄膜厚度的实时数据处理
光斑尺寸：50 x 100 μm（入射角=60°）的微光斑
薄膜厚度测量范围：<1 nm~10 μm
光谱范围：450–900 n

品牌 PARK SYSTEMS
型号 Accurion RSE
类别椭圆偏振仪
领域精密测量、薄膜分析

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