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SRO-100铷原子钟提供高精度的频率标准输出。小型化设计，低功耗，优异的短期和长期稳定性，适用于各种精密时间频率应用。
科研装置与计量、通信与数据中心、高端科学实验、智能电网与能源、工业自动化
Load-lock式或Cluster结构，可支持多个工艺腔体组合
单腔多靶位设计
本底真空度更高，可对应UHV高真空成膜技术
低压放电成膜技术
丰富的磁性材料成膜工艺
支持倾斜膜、阶梯膜工艺
可选用DC和RF电源组合，支持金属和化合物成膜工艺，支持高温工艺
多种配件可选，包括多层基板片盒，高通量先行快门，远程监视器等
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