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THERMCO 8000卧式炉管系统提供高温退火、氧化、扩散等工艺。支持多个工艺管，可批量处理晶圆。温度控制精度高，均匀性优异。
MEMS器件研发、光电器件、功率器件
3/5分区温控
碳化硅带涂层桨
可搭载自动装载系统
可支持4/6/8/12英寸晶圆
最大可支持4管工艺管路
可支持LPCVD或常压工艺
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