SIMON 成像椭圆偏振仪

成像椭圆偏振仪

SIMON成像椭圆偏振仪提供快速、高精度的薄膜厚度和光学常数测量。成像方式可实现大面积并行测量,大幅提升检测效率。

应用领域:

大面积样品质检、二维材料薄片定位、纳米薄膜计量、曲面/透明基底薄膜表征、表面工程、气-水界面研究、光子学/显示材料光学特性分析

核心特点

  • 易操作的入门级系统

  • 成像椭圆偏振仪,横向椭偏分辨率低至1µm的成像椭偏仪

  • 微观结构的厚度和折射率测量

  • 大面积层厚分布和隐藏缺陷的快速可视化

  • 微结构的厚度和折射率测量,椭偏仪和显微镜的结合可以测量样品的厚度图

  • 显微镜模式非常快,并且允许在最薄层(例如单层:d=0.35nm)中观察变化和缺陷

产品信息
  • 品牌 PARK SYSTEMS
  • 型号 SIMON
  • 类别 椭圆偏振仪
  • 领域 薄膜测量、光学分析

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