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Our mission is to empowers businesses off all size in an businesses.
产品包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、干法刻蚀、灰化设备、离子注入及快速热处理系统。
提供面板溅射设备(Sputtering)、蒸镀设备及掩模板封装方案。
系列高真空泵(干泵、分子泵、油泵)、真空计、氦质谱检漏仪、成膜控制器及表面分析测试仪器。
提供适配200mm和300mm晶圆产线的全自动原子力显微镜(如NX-Wafer),适用于化学机械抛光(CMP)后表面形貌监测及粗糙度分析。
NX系列扫描探针显微镜应用于基础科学研究及纳米材料开发。
集成白光干涉仪(WLI)、纳米级红外光谱分析系统(Nano-IR)及高灵敏度主动隔振系统,提供多维度表征方案。
时间频率同步设备
高性能MEMS传感器
包括加速度计、陀螺仪及压力传感器
MEMS代工服务(含Tronics技术平台)
高精度光电瞄准及定位系统
特种半导体工艺方案
涵盖热处理、电子组装等专业技术
精密测量设备:
激光干涉仪
白光干涉仪(光学轮廓仪)
超精密光学元件:
各类高精度透镜、平面镜
半导体检测方案:
光刻机掩模检测系统
晶圆平整度测量方案
蔡司(ZEISS)成立于1846年,总部位于德国奥伯科亨。作为光学与光电技术领域的知名企业,蔡司在全球范围内开展业务,由卡尔·蔡司基金会全资拥有。
蔡司专注于光学技术的研发与创新,其产品组合包括:
光学测量仪器
工业检测设备
医疗技术解决方案
消费光学产品
技术优势
公司建立了一套完整的质量控制体系,其产品与技术通过多项国际标准认证,满足不同行业客户的精度要求。
业务网络
蔡司在全球建立了完善的销售和服务网络,在中国市场设有本地化机构,为客户提供及时的技术支持和专业服务。
英国领先的 MEMS 制造技术供应商。专注于为 MEMS 制造提供独特的工艺设备和工艺解决方案。
主营业务:
SMR系列气相刻蚀设备(特别是 HF 和 XeF2 气相干法蚀刻)
自组装单分子层(SAM)沉积技术
针对 MEMS 研发的定制化工艺开发
THERMCO作为英国半导体设备制造商,在热处理设备领域积累了超过50年的专业经验。
主营业务:
卧式及立式扩散炉、LPCVD(低压化学气相沉积);特种气体系统;外延生长设备及用于电力电子(如碳化硅、氮化镓)的热处理方案。
应用领域:
广泛应用于功率半导体、MEMS、光伏以及先进逻辑芯片的基础工艺环节。
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