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日本 ULVAC(爱发科)

公司1952年成立于日本,是一家专注真空技术研发与制造的企业。业务覆盖半导体、新型显示、功率器件、新能源、冷冻干燥及生物医药等领域。
主营业务:
半导体及电子制造设备:

产品包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、干法刻蚀、灰化设备、离子注入及快速热处理系统。

显示技术设备:

提供面板溅射设备(Sputtering)、蒸镀设备及掩模板封装方案。

核心零部件:

系列高真空泵(干泵、分子泵、油泵)、真空计、氦质谱检漏仪、成膜控制器及表面分析测试仪器。

韩国 PARK SYSTEMS

1997年成立于韩国水原,公司团队专注于纳米级测量设备的设计与研发,其原子力显微镜(AFM)技术为半导体失效分析与材料科学研究提供高精度三维测量方案。
主营业务:
工业级AFM

提供适配200mm和300mm晶圆产线的全自动原子力显微镜(如NX-Wafer),适用于化学机械抛光(CMP)后表面形貌监测及粗糙度分析。

科研级AFM

NX系列扫描探针显微镜应用于基础科学研究及纳米材料开发。

综合计量方案

集成白光干涉仪(WLI)、纳米级红外光谱分析系统(Nano-IR)及高灵敏度主动隔振系统,提供多维度表征方案。

法国 SAFRAN(赛峰集团)

SAFRAN公司为法国跨国高科技企业,专注于航空发动机及航空设备制造,并基于航空精密技术拓展至半导体领域,提供高性能MEMS传感器设计、制造及特种封装解决方案。
主营业务:

时间频率同步设备

高性能MEMS传感器

包括加速度计、陀螺仪及压力传感器

MEMS代工服务(含Tronics技术平台)

高精度光电瞄准及定位系统

特种半导体工艺方案

涵盖热处理、电子组装等专业技术

美国 ZYGO(阿美特克旗下)

ZYGO公司1970年成立于美国康涅狄格州,专注于光学计量、非接触式三维表面形貌测量及高精度光学组件研发制造。
主营业务:

精密测量设备:

激光干涉仪

白光干涉仪(光学轮廓仪)

超精密光学元件:

各类高精度透镜、平面镜

半导体检测方案:

光刻机掩模检测系统

晶圆平整度测量方案

应用领域:
产品主要服务于半导体光刻系统、AR/VR光学组件制造、深空探测天文望远镜等高精度要求的应用场景。

德国 ZEISS(蔡司)

蔡司(ZEISS)成立于1846年,总部位于德国奥伯科亨。作为光学与光电技术领域的知名企业,蔡司在全球范围内开展业务,由卡尔·蔡司基金会全资拥有。

蔡司专注于光学技术的研发与创新,其产品组合包括

光学测量仪器

工业检测设备

医疗技术解决方案

消费光学产品

技术优势

公司建立了一套完整的质量控制体系,其产品与技术通过多项国际标准认证,满足不同行业客户的精度要求。

业务网络

蔡司在全球建立了完善的销售和服务网络,在中国市场设有本地化机构,为客户提供及时的技术支持和专业服务。

英国 memsstar(MEMSSTAR)

英国领先的 MEMS 制造技术供应商。专注于为 MEMS 制造提供独特的工艺设备和工艺解决方案。

主营业务:

SMR系列气相刻蚀设备(特别是 HF 和 XeF2 气相干法蚀刻)

自组装单分子层(SAM)沉积技术

针对 MEMS 研发的定制化工艺开发

英国 THERMCO(Thermco Systems)

THERMCO作为英国半导体设备制造商,在热处理设备领域积累了超过50年的专业经验。

技术专长:
在卧式扩散炉和化学气相沉积技术领域,公司拥有成熟的产品解决方案。

主营业务:

卧式及立式扩散炉、LPCVD(低压化学气相沉积);特种气体系统;外延生长设备及用于电力电子(如碳化硅、氮化镓)的热处理方案。

应用领域:

广泛应用于功率半导体、MEMS、光伏以及先进逻辑芯片的基础工艺环节。

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