AS-Master 快速热退火系统 – 慧创科学官网

AS-Master 快速热退火系统

执行离子注入退火、快速氧化/氮化、欧姆接触、薄膜晶化等高温热处理。本系列通用快速热退火系统，精准温控、宽气氛、高兼容，满足半导体与光电器件核心高温制程。

应用领域：

半导体、LED、功率器件、太阳能电池

核心特点

室温至1450℃，最高升温速率200℃/s
多区红外加热，温度均匀性优异
常压到高真空（10⁻⁶Torr），多路工艺气控制
手动/自动上料，支持研发到量产
双温控+脉冲模式，适配热敏基底

品牌 Annealsys
型号
类别 AS-Master系列
领域半导体、功率器件
太阳能电池、LED

需要帮助？
随时联系我们

如有任何产品咨询或技术支持需求，请随时与我们联系，我们将竭诚为您服务。

慧核心技术，创至诚服务

京ICP备18008878号-1

© 2026 wise-creative.com.cn All right reserved.