Park NX20 300mm 晶圆原子力显微镜 – 慧创科学官网

Park NX20 300mm 晶圆原子力显微镜

专为300mm 晶圆打造的全自动高精度原子力显微镜，支持全域电动扫描与一键自动成像，满足大尺寸样品纳米级表征需求。

应用领域：

设备广泛用于半导体失效分析、质量管控与工艺检测，可高效完成形貌、粗糙度、电学、缺陷等多维度自动化测量。

核心特点

300mm 大晶圆全自动测量
支持300mm×300mm全程电动扫描，无需手动移位，完整覆盖大尺寸晶圆。
一键式智能操作
搭载 SmartScan™自动成像，新手可快速上手，大幅简化测量流程。
高精度硬件配置
XY 扫描范围 100μm、Z 最高 30μm，全轴精密编码器，测量稳定精准。
多样品兼容真空吸盘兼容
100/150/200/300mm 晶圆及小样品，适配多种尺寸与形状。
批量自动化测试
支持网格 / 晶圆模式多点位自动顺序测量，提升 QA/QC 效率。
多功能表征能力
可测形貌、粗糙度、高度 / 深度、缺陷、电学、磁学、热学、纳米力学。

品牌 Park System
型号 Park NX20 300mm
类别晶圆原子力显微镜
领域半导体、MEMS
数据存储、薄膜

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