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该设备是全自动多功能扫描聚焦 X 射线光电子能谱仪，集成微区 XPS、AES、UPS、深度剖析等多技术平台，支持≤5μm 微区精准分析与全自动多样品测试。
本表征设备操作简便，扩展性强，可快速完成材料表面元素、化学态、薄膜深度与能带结构表征。
电池、半导体、光伏、新能源、有机器件、催化、金属、陶瓷。
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