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Park NX-Hivac 是专为高精度电学测量设计的高真空原子力显微镜,以高真空环境消除水汽干扰,显著提升分辨率与信噪比,可捕捉传统 AFM 难以检测的微弱电学信号,同时降低探针与样品损伤。
设备搭载全自动真空系统,5 分钟内达到优于 10⁻⁵ torr,一键控制抽排气;支持 StepScan 多区域自动成像、电动激光对准与多样品卡盘,一次真空完成批量测试。配备闭环 XY/Z 扫描器、低噪声传感器与 24 位数字控制器,测量精准稳定。
覆盖形貌、导电、电容、电阻、电势、磁力、热学、纳米力学等全模式测量,搭配 SmartScan™一键成像与便捷换样设计,操作简单高效。
半导体失效分析、掺杂浓度检测、接触孔缺陷分析
先进材料纳米力学 / 磁学 / 热学性能研究
硬盘磁畴、磁头热性能表征
MEMS / 微纳器件侧壁与表面成像
学术研究与工业高精度计量检测
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