电学测量原子力显微镜 Park NX-Hivac

电学测量高真空原子力显微镜 Park NX-Hivac

Park NX-Hivac 是专为高精度电学测量设计的高真空原子力显微镜,以高真空环境消除水汽干扰,显著提升分辨率与信噪比,可捕捉传统 AFM 难以检测的微弱电学信号,同时降低探针与样品损伤。
设备搭载全自动真空系统,5 分钟内达到优于 10⁻⁵ torr,一键控制抽排气;支持 StepScan 多区域自动成像、电动激光对准与多样品卡盘,一次真空完成批量测试。配备闭环 XY/Z 扫描器、低噪声传感器与 24 位数字控制器,测量精准稳定。
覆盖形貌、导电、电容、电阻、电势、磁力、热学、纳米力学等全模式测量,搭配 SmartScan™一键成像与便捷换样设计,操作简单高效。

应用领域:

半导体失效分析、掺杂浓度检测、接触孔缺陷分析
先进材料纳米力学 / 磁学 / 热学性能研究
硬盘磁畴、磁头热性能表征
MEMS / 微纳器件侧壁与表面成像
学术研究与工业高精度计量检测

核心特点

  • 高真空精准测试
    排除水分子干扰,捕捉传统 AFM 无法检测的微弱电学信号,提升分辨率与信噪比,保护探针与样品。
  • 快速高效真空系统
    5 分钟内达优于 10⁻⁵ torr高真空,全自动抽排气,一键智能控制,操作零门槛。
  • 全流程自动化
    StepScan 多区域自动成像、电动激光对准、多样品卡盘,一次真空批量测试,大幅提升效率。
  • 超高精度硬件
    闭环 XY/Z 扫描器、低噪声传感器、24 位数字控制器,测量精准稳定,无需软件后期修正。
  • 全功能测量模式
    覆盖形貌、导电、电容、电阻、电势、磁力、热学、纳米力学等多维度表征。
  • 极简易用设计
    SmartScan™一键自动成像,燕尾式快换扫描头,大视窗观察,新手快速上手。
电学测量原子力显微镜
  • 品牌 Park system
  • 型号 NX-Hivac
  • 类别 原子力显微镜
  • 领域 半导体、材料
    存储、MEMS

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