SYSKEY 感应耦合等离子增强化学气相沉积ICP-PECVD

SYSKEY ICP PECVD 以高密度 ICP、低温、高均匀性、强台阶覆盖、多材料兼容与模块化定制为核心，兼顾科研灵活性与量产稳定性，是先进封装、光电子、MEMS 与半导体后段的理想设备。核心特点是高密度 ICP 等离子体、低温工艺、极佳均匀性、高台阶覆盖、多材料兼容与高度定制化，主打科研到小批量量产的高稳定性与低成本优势。