APSXXXX-XT自动探针台

APS全配置型自动探针台专为 6"/8"/12" 大尺寸晶圆的高效、高重复性电性能测试设计的高精度晶圆级自动化测试平台，支持常温 / 高低温宽温域测试，广泛适配半导体、光电器件等领域的批量生产与研发验证场景。

主要面向半导体制造领域，为 6/8/12 英寸晶圆的集成电路、功率器件、射频芯片提供自动化批量测试，同时适配光电器件的高精度表征。它也服务于科研与工业研发场景，并凭借宽温域测试能力，满足汽车电子、航空航天等器件的高低温可靠性验证需求。