ULVAC ei-501z电子束蒸发镀膜设备，是可以在在基板上进行镀金属和氧化物膜的设备。 操作屏上自动进行集中控制排气操作，成膜操作，适用于研究、开发和少量生产。

特征 

・ 可以搭载多种蒸发源 (EB, RH, EB + RH 等)

・ 可以搭载多种夹具，对应不同工艺 (lift-off, planetary, satellite 等)

・ 可以搭载多种基板; 基板尺寸从2寸到6寸，基板材料为硅，玻璃等 

・ 可以通过 LCD 触摸屏进行操作 

・ PC控制系统以及各种功能(工艺参数，记录数据，维护保养)

用途 

・ Power device 

・ LED, LD 行业 

・ 研究开发 

・ 电力电子行业