Qulee气体组分与分压测量系统配备了涡旋干泵，可以对激光室和烘烤除气腔体进行抽气。过渡腔上装有电阻真空计（也称皮拉尼计），可以测量过渡腔的真空度，系统中设有真空限定开启的电磁隔断阀，可以有效保护四极质谱仪。
系统可集成在一个可以移动的机架上，可以方便的移动到需要的位置，并可以锁住，极大地方便用户使用。

系统主要技术参数

1）质谱仪所测质量数范围应在 1~200 之间
2）该系统应能分辨 0.1ppm 级别的气体成分
3）减压系统极限真空度5Pa
4）过渡室尺寸:Φ100×120mm
5）电源电压: ～220V
6）外形尺寸：1400X800X1400

系列气体分析仪包括以下主要特点：

1）QULEE RGM-202/302是一种气体过程监测系统，核心部分为四级杆质谱检测仪，已开发用于蚀刻、化学气相沉积和其他反应性气体过程的各种应用。

2）通过使用传感器类型的小型组件，实现更小的安装空间，从而实现将控制电源装置连接到分析管

路上

3）紧凑型分析仪系统包括一个具有3个独立进气模式的截止阀和一个带有中间排气口的复合涡轮分子泵。

4）系统应用高灵敏度的封闭型离子源，灯丝具有优良的耐腐蚀性，实现了低温软电离工艺气体的精准测量。

5）可以测量从高真空到1.3e+4pa范围内的各种通入气体压力

6）只需操作两个按钮即可进行泄漏测试和杂质监测,方便快捷

7）数据采集和测试结果可以显示在设备装置的PC显示屏上，不用连接电脑也可以获得测试数据

8）与PC机相连时，系统支持使用专用软件“Qulee QCS”进行更为详细的数据分析

9）控制单元通过RS-232C与PC相连，并由专用软件（Qulee QCS）操作

10）通过RC485选件，最多可将8台Qulee设备与一台PC机连接

11）控制单元可输入压力、温度等外部模拟信号，并可在PC屏幕上同时监控

12）系统通过欧盟RoHS标准

Qulee BGM2四极杆质谱