8英寸IBD 离子束沉积镀膜系统 coat 200

产品特点：

（1）离子束能量可精确调节，匹配更精准的离子能量；

（2）采用双离子源结构，一个源轰击靶材，另一个源直接轰击样品表面；

（3）沉积过程中，使溅射材料凝结在样品表面，行程稳固均匀的膜层；

（4）分子跃迁能量更高，大约是磁控溅射和电子束蒸发的10倍左右；

（5）可以行程更平滑，缺陷更少的优质膜层；