ei-7z 高真空批处理式蒸发镀膜设备

适用于金属及多种材料的高品质蒸发镀膜

1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制，实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产

2.蒸发材料：金属，ITO，二氧化硅等材料

• 金属，合金，非金属，化合物等材料的高品质蒸发镀膜

• 蒸发镀膜的纯度高，附着力强

• 镀膜的均匀性好，重复性优异

• 配置离子源进行表面处理

• 配置热阻蒸发，省材料

• 上位通信，材料扫描功能

• 镀锅方式包括公转式（支持Lift-off工艺）和行星式

• 2～12inch，不定型片，方片蒸发

应用场合

• 功率器件

• LED

• 光通信/传感器

• 高校及研究所科研&研发使用