SGC-MS1700i 是一款用于智能手机镜头镀 AR 膜的蒸镀设备,在生产效率、镀膜质量和设备运行管理等方面具有显著优势。
1.产品特点
•高效生产:
生产节拍时间大幅缩短,相比现有机型缩短约 54%,生产量提升 2 倍 。通过优化抽真空、镀膜、破真空等各工序流程和时间,实现了高效生产。例如,排气工序约缩短 49%,镀膜工程缩短约 58%,破真空工程约缩短 52%。
•镀膜性能好:
镀膜再现性与现有机型相当,短波長一侧 R=1 %、宽度 < 10nm。采用二源同时蒸镀技术,蒸镀速率提升且对镜片入射角和立体镀膜效果与现有设备对等,不会劣化。
•先进的加热与监控:
配备促进加热机构,基板升温速度约为现有机型 3 倍,增设卤素加热器促进脱气。搭载无线温度监控,采用无线电力传输,无需更换电池,可监控温度变化并实现安全温度管理。
•优化的真空系统:
采用双迈斯纳线圈,增大有效面积,加快排气速度;迈斯纳面板可偏移调整。新破真空机构配合优化挡板,能快速引入大气,防止薄膜沉积材料环镀和基板落下。
•智能监控管理:
运行监控系统 EPIoT,基于边缘计算和物联网技术,实时监控设备多种参数,如离子源、气缸、气体导入量等,通过可视化业务流程和损耗解析功能,助力设备稳定运行和改进优化。
2.功能介绍
•蒸镀功能:
支持二源同时蒸镀,可进行高速镀膜,并通过无线水晶监控实现高精度控制,确保镀膜质量稳定。采用可应对高蒸镀速率的离子源(ISG - 230 或 ISH),补足因高速率化而缺乏的氧离子。
•真空控制功能:
抽真空工序通过促进加热机构、双迈斯纳线圈等设计,加速排气;破真空工序借助新破真空机构和优化挡板,快速引入大气并防止不良现象。
•监控功能:
无线温度监控实时监测树脂镜片温度变化;EPIoT 系统全方位监控设备运行状态,收集数值数据、气缸动作信号、设备报警等信息,及时发布公告提示异常。
3.应用:
在树脂基板上形成抗反射膜。例:智能手机的相机镜头。