1概览

The leading nano metrology tool for failure analysis and large sample research

作为一位失效分析工程师，您的任务是提供结果。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这架精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。

More powerful failure analysis solutions

Park NX20可轻易找出仪器失效的原因并帮助制定出更多具有创意的解决方案。优异的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，True Non-Contact™扫描模式让探针尖端更锋利、更耐久，无需为频繁更换而耗费大量的时间和金钱。

Easy to use, even for entry level engineers

Park NX20拥有业界更为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时监督初级工师。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析。

2技术信息

Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories

Sidewall measurements for 3D structure study

NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面，并能够测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。

Surface roughness measurements for media and substrates

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。

High resolution electrical scan mode

QuickStep SCM  快速的扫描式电容显微镜  

 PinPoint iAFM  无摩擦导电原子力显微镜

Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

         Tip Wearing Experiment with CrN Sample

• 通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的True Non-Contact模式的优势之处。

                        Reproduce Best AFM Measurement

• 借助True Non-Contact模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

我们的原子力显微镜配有有效的低噪声Z轴探测器，宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来更为精准的样品形貌，不会受沿过冲影响，而且无需校准。这仅仅是Park原子力显微镜为您节省时间，带来更好精准数据的方式之一。

3原子力显微镜模式

QuickStep SCM Mode

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。

通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因在于探针在接触中快速磨损。全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。

High-bandwidth, Low-noise Conductive AFM

导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。Park导电原子力显微镜不但有着非常低的电流噪声，且增益范围也大。

• The lowest current noise 最低的电流噪声至0.1 pA

• 最大电流为10 μA

• 最大的增益范围：7个数量级，103-109

可用于 300mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具

Park NX20 300mm属于大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求，并使Park NX20的扫描过程尽可能在保证效率的同时便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面，用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的优质选择。

专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计，可达到大样品的更佳测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精准地开展工作。

灵活的300mm样品吸盘

Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品。

300mm XY轴工作台

机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。

NX20 支持300mm样品台，性能已被证实

因其优异的易用性和自动化以及不受影响的精度，NX20已是FA、QA和QC工程师的优质选择。凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台，NX20 300mm更上一层楼，允许用户轻松地以更高的精度检测更大的样品。

Park SmartScan™让精准测量更为简单

Park NX20配备了我们的SmartScan操作系统，使其更加易于操作。通过直观且极为强大的界面，即便是未经培训的用户无需协助也可快速扫描大样品。这使高级工程师能够集中精力解决更大的问题和开发更好的解决方案。

a在完整300mm晶圆上扫描多个位点

SmartScan™允许用户从位点到位点和样品到样品的层面上，借助基于网格和晶圆的模式，进行自动顺序测量与表面形态、高度和表面粗糙度的比较。这可以大大提高扫描大样品时的用户便利性和生产效率。

b强大的工作创建功能

格式创建流程简单，允许工程师设置每个批次的位置、名称、数量和类型所定义的预设。

针对广泛应用性进行优化

NX20 300mm为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量，为纳米级的样品提供高级测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量，缺陷检查，电气和磁故障分析，热性能表征和纳米力学性能成像等能力，该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。