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时间频率同步与原子钟
时频设备与原子钟
5MHz,10MHz,100MHz相位微跃器
5~120MHz频率分配放大器
时间频率同步系统
通用型时间产生与同步板卡(WR-ZEN Board)
小型高精度时间同步模块OEM板 (OEM WR-LEN)
SPEC快速开始套装 (KIT SPEC)
高精度时钟同步PCIe卡（SPEC）
多通道数字I/O (FMC DIO 5CH)
高精度脉冲延时板卡(FMC DEL)
高精度时间同步交换机 (WRS v3.4)
通用型时间同步仪(WR-ZEN TP)
小型时间同步模块套装(KIT WR-LEN)
小型时间同步模块(WR-LEN)
微电子与半导体工艺
工艺设备scia
scia 6/8英寸IBD 离子束沉积镀膜系统 coat 150/200
scia IBE 离子束刻蚀 mill 200
scia IBE 离子束刻蚀 mill 150
工艺设备ULVAC
ULVAC VPC-1100真空蒸发镀膜机
ULVAC VTR-151M/SRF高频溅射镀膜系统
ULVAC NLD-570真空干法刻蚀设备
ESZ-R
ULVAC ei-7z
ULVAC CS-200高真空磁控溅射系统
ULVAC Qulee气体组分与分压测量系统
ULVAC QAM研究级射频测控溅射
ULVAC CC-200 PECVD化学气相沉积
ULVAC ei-501z电子束蒸发镀膜
ULVAC NE-550 EX真空干法刻蚀
工艺设备-memsstar气氛刻蚀
XeF2二氟化氙气氛刻蚀
HF氟化氢刻蚀
工艺设备SHOWA
SST-M01T 晶圆修整设备
SEC-16C/22C 真空蒸镀设备
SPH-2500T-Ⅱ电极镀膜 溅射设备
SEC-S900C蒸镀设备
SGC-MS1700i二源蒸镀机
表面形貌测量&微结构与成分测定
显微拉曼系统
拉曼-SEM联用RISE
Alpha300系列：拉曼、AFM 和 SNOM 先进成像系统（标准或联用）
原子力显微镜&扫描隧道显微镜
原子力探针
FX40
PARK NX12-BIO AFM
Park XE15 AFM
Park XE7 AFM
Park NX-Hivac AFM
Park HDM Series AFM
Park NX20 AFM
Park NX10 AFM
电子显微镜
蔡司Crossbeam系列
蔡司GeminiSEM系列
蔡司Sigma系列
表面轮廓仪&激光干涉仪 ZYGO
ZYGO Verifire™ HDX 激光干涉仪
ZYGO Nexview™ NX2 表面轮廓仪
ZYGO NewView™ 9000 Series 表面轮廓仪
耗材/试剂/备品备件
布拉格光栅定制解决方案
布拉格光栅Proximion AB
定制光纤布拉格光栅解决方案
色散补偿模块
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